#11 MOS Capacitor (3) - 비이상적인 효과: Oxide charge부터

oxide 내부에서는 charge가 존재하지 않는다는 가정 하에 우리는 MOS Cap의 전하량과 Capacitance를 구해봤다.

 

그럼 지에 oxide 내부에 charge가 존재했을 때의 상황을 알아보자

1. Oxide 내 Charge 존재 시 영향

MOS 구조에서 oxide 내부에 charge가 존재하면 이 charge는 전기장의 분포와 Gate 전압의 유효성에 영향을 미친다.

• Oxide charge가 Surface 근처에 있을수록 전기장과 유효 게이트 전압 (Vg​)에 더 큰 영향을 미친다.
• Charge가 oxide 내부의 특정 위치 (x)에 있을 때, 표면 전위 (ϕs)와 산화막 내 전위 분포를 바꿔 depletion region의 두께와 모양을 변경시킨다.

2. Poly-Si Gate Depletion

전통적으로 gate 물질로 금속을 사용했지만, Poly-Si를 사용하면 아래와 같은 특징이 나타난다.

 

metal이 아닌 gate도 쓰기 때문에 역전압을 걸면 반영해줘야 한다.